洁净室/无尘室基础知识

发表时间:2020-05-06 21:45

洁净室/无尘室基础知识

洁净室(亦称无尘室):空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

现行标准:GB50073-2013 洁净厂房设计规范。

各种条件下微尘状况

尘埃粒子直径的示意图:

灰尘又是如何产生的呢?

运动时产生的尘埃粒子数量

灰尘是如何去除的呢?

洁净室的空气净化:

手持简易型激光粒子计数器

测量空气中微粒的数量:

限于体量和重量,手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺(0.1cfm),即每分钟2.83升(2.83L/m),其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采用电池或交流电工作。

这类产品粒径通道又可分为双通道型,如美国Met One公司生产的HHPC-2型,有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。








高效过滤器

高效过滤器检漏:

卸下HEPA的散流板,对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸(约2.54cm),扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行,线条间应重叠。检测过程中,若有报警声 (即%LEAKAGE(泄漏率)超过0.01%),表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右,在测试的过程中,应经常确认上游气溶胶的浓度,注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩

风量罩

测量送风风速:

风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成。

风量罩体主要用于采集风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上。在风速均匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据。操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录,以便对数据进行分析。测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用。

风罩的测量技术要求:

静电控制

ESD控制= Man(人)+ Machine (机) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(环)。

风淋室(Airshower)

风淋室设于无尘室入口处,具有以下功能:

人员管制;AIR LOCK 气锁功能,防止交叉污染;

风速20-25m/s吹落尘埃带走功能,用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃